型號(hào)：BGS-6341

電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀

描述：該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、基片曲率
半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多, 能給出場(chǎng)面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗(yàn)和微電子研究。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2024-04-16
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電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀型號(hào)：BGS-6341

該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、基片曲率

半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多, 能給出場(chǎng)面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗(yàn)和微電子研究。

儀器基于干涉計(jì)量的場(chǎng)測(cè)試原理, 可實(shí)時(shí)觀測(cè)面型的分布, 迅速了解被測(cè)樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。

際*的錯(cuò)位相移

計(jì)算機(jī)自動(dòng)條紋處理

測(cè)試過(guò)程自動(dòng)

的曲面補(bǔ)償測(cè)試原理

zui大樣品尺寸	≤100mm （4英寸）
曲率范圍	\|R\|≥5米
測(cè)試度	5%
單片測(cè)量時(shí)間	3分鐘/片
結(jié)果類型	面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示能	三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源	AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大耗	100W
外型尺寸（L×W×H）	285mm×680mm×450mm
重量	36kg

北京恒奧德儀器儀表有限公司
：鵬
： /57196682 /57191006//

：hadgs2009@yahoo.cn

地址：北京市海淀區(qū)阜成路42號(hào)院6號(hào)C-211

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